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等離子凈化器通常簡稱WESP，與干式電除塵器的除塵基本原理相同，要經歷荷電、收集和清灰三個階段。
等離子凈化器有幾種結構形式，一種是使用耐腐蝕導電材料(可以為導電性能優良的的非金屬材料或具有耐腐蝕特性的金屬材料)做集塵極，一種是用通過噴水或溢流水形成導電水膜不導電的非金屬材料做集塵極。
等離子凈化器還可分為橫流式(臥式)和豎流式(立式)，橫流式多為板式結構，氣體流向為水平方向進出，結構類似干式電除塵器；豎流式多為管式機構，氣體流向為垂直方向進出。一般來講，同等通氣截面積情況下豎流式等離子凈化器效率為橫流式的2倍。
等離子凈化器和與干式電除塵器的收塵原理相同，都是靠高壓電暈放電使得粉塵荷電，荷電后的粉塵在電場力的作用下到達到集塵板/管。干式電收塵器主要處理含水很低的干氣體，等離子凈化器主要處理含水較高乃至飽和的濕氣體。在對集塵板/管上捕集到的粉塵清除方式上WESP與DESP有較大區別，干式電除塵器一般采用機械振打或聲波清灰等方式清除電極上的積灰，而等離子凈化器則采用定期沖洗的方式，使粉塵隨著沖刷液的流動而清除。
